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另外,本发明也可以附加其他任意的构成物。技术特征:一种MEMS器件,其特征在于,包括:基底,具备支承部及固定电极;可动体,以使主表面与所述固定电极对置的方式被所述支承部支承;以及抵接部,与所述可动体的外边缘的至少一部分相对,限制所述主表面在平面方向上的旋转位移,所述抵接部具备:抵接面,包括所述可动体在所述旋转位移下抵接的抵接位置;以及洞部,与所述抵接面对置设置。.根据权利要求1所述的MEMS器件,其特征在于,所述抵接部与所述可动体的角部对置设置。根据权利要求1或2所述的MEMS器件,其特征在于,所述抵接部设置有多个。4.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS器件,其特征在于,所述洞部在与所述抵接面相反一侧的面开口。
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电力设备,现结现算.机械设备、二手设备供应、洞部47d开口,抵接面46d被截断。并且,在窄宽度部49d的前端49t与洞部47d侧对置的位置,设置有从框部40的与抵接面46d相反一侧的面40s侧的边缘71向窄宽度部49d细长地延伸、且与窄宽度部49d具有间隙的突起部72。根据这种变形例4的抵接部48d,通过洞部47d向抵接面46d的一部分开口,能够进一步减小包括与可动体50接触的部分即抵接面46d的窄宽度部49d的刚性,能够进一步提高对与可动体50接触的缓冲作用。另外,由于能够将突起部72作为窄宽度部49d的止动件,因此能够抑制窄宽度部49d的过大的变形,能够抑制窄宽度部49d的破损。(变形例5)首先,参照图9,对抵接部的变形例5进行说明。sdhbvedferjk
从化回收电镀生产线拆除结算埋设与检测方法应符合GJB1210的要求。4.2.2.2防静电地线不得接在电源零线上,不得与防雷地线共用。4.2。2.3使用三相五线制供电,其大地线可以作为防静电地线(但零线、地线不得混接)。4.2.2.4接地主干线截面积应不小于100mm2,支干线截面积应不小于6mm2设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25mm2的多股敷塑导线,接地线颜色以黄绿色线为宜.4.2.2.5接地主干线的连接方式应采用钎焊.4.2.2.6防静电设备连接端子应确保接触可靠,易装拆,允许使用各种夹式连接铝,如锷鱼夹、插头座等.4.2.3天花板材料天花板材料应选用抗静电型材料制品,一般情况下允许使用石膏板制品,禁止使用普通塑料制品。
从化回收电镀生产线拆除结算机械设备分类:五金加工成型机械;冲床、磨床、铣床、车床、火花机、线切割、慢走丝、电脑锣、精雕机、牛头刨、摇臂钻、攻牙机、镗床。(移动体)接着,对于应用了本发明的一实施方式的MEMS器件1及其变形例中的任一方式的移动体,将使用了MEMS器件1的例子作为代表例在图14中示出并进行详细说明。图14是示出作为移动体的一例的汽车的结构的立体图。如图14所示,汽车1500中内置有MEMS器件1,例如通过MEMS器件1能够检测车身1501的姿势。MEMS器件1的检测信号被提供给作为姿势控制部的车身姿势控制装置1502,车身姿势控制装置1502基于该信号检测车身1501的姿势,并能够根据检测结果控制悬挂的软硬、控制各个车轮1503的制动。另外,MEMS器件1还能够广泛应用于无匙门禁、防盗锁止装置(immobilizer)、汽车导航系统、汽车空调、防抱死制动系统(ABS)、气囊、轮胎压力监测系统(TPMS:TirePressureMonitoringSystem)、发动机控制、自动驾驶用惯性导航的控制设备、混合动力汽车和电动汽车的电池器等电子控制单元(ECU:electroniccontrolunit)。